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半導(dǎo)體設(shè)備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線性和硬性

來源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間：2023-05-26 15:58

半導(dǎo)體設(shè)備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線性和硬性，能限定震幅，防止共振和沖擊共振頻率能夠設(shè)計(jì)成非常低，甚至低于1Hz，共振頻率通常為5-7Hz。減振效率遠(yuǎn)高于其他減振元件，能夠隔離低頻振動(dòng)。作為具有可調(diào)節(jié)的非線性靜態(tài)剛度和減震特點(diǎn)的減振元件。其特點(diǎn)是力伴隨著運(yùn)動(dòng)速度變化而變化。當(dāng)導(dǎo)氣彈簧力的作用點(diǎn)移動(dòng)較快時(shí)，彈簧阻力明顯，而作用點(diǎn)移動(dòng)較慢時(shí)，阻力很小。

空氣彈簧一般由奧氏體材料或依據(jù)客戶的要求制造?；钊麠U行程尺寸8mm的余量，尺寸選擇合理，應(yīng)力適當(dāng)。選用球形空氣彈簧和鉸鏈?zhǔn)讲y管，應(yīng)加裝導(dǎo)向支架，防止波紋管失去了穩(wěn)定性。選用其他方式，補(bǔ)償管道太長時(shí)，還應(yīng)提供導(dǎo)向支撐。補(bǔ)償管道較長時(shí)要采用減小磨擦。

空氣彈簧的密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)大多選用結(jié)構(gòu)，兩邊，端面為光滑突面，兩兩邊用螺釘連接到能夠密封嚴(yán)密。隔離外部環(huán)境對印壓光刻機(jī)的影響，能夠保護(hù)壓印機(jī)不受低頻激振力的激起。確定了低頻單度減振系統(tǒng)的減振原理，確定了剛度及減振系統(tǒng)的共振頻率，并與實(shí)際減振系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果相符合，說明印壓光刻機(jī)低頻減振設(shè)計(jì)合理可行。

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